ГНЦ РФ ФГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ

Основные направления деятельности:

В ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ СФЕРЕ

Основные направления подготовки и переподготовки специалистов

• производственная практика;
• дипломное и курсовое проектирование;
• специализированные учебные курсы:
  • проектирование специализированных БИС на основе БМК,
  • технология микросистем
• межвузовская программа подготовки разработчиков специализированных БИС;
• для осуществления высококвалифицированной подготовки студентов, аспирантов на базе ТЦ создана кафедра «Микроэлектроника и микросистемы».

В соответствии с тематикой последних разработок ТЦ, одной из профилирующих специальностей на кафедре является «Микро- и наноэлектроника».

НАУЧНО — ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ

Разработки в области

• микро- и наноэлектроники:
  • конструктивно-технологические базисы для биполярных, КМОП и БиКМОП БИС;
  • САПР и средства макетирования для оперативной разработки специализированных БИС;
  • новые типы быстродействующих БИС на БМК высокой степени интеграции;
  • разработка технологий с использованием наноразмерных элементов на основе методов самоформирования;
  • наноэлементная компонентная база.
• микро- и наносистемной техники:
  • микросистемы и микродатчики анализа физических величин, в том числе с наноразмерными конструктивными элементами;
  • сверхминиатюрные акустические преобразователи;
  • тензорезистивные акселерометры;
  • магниторезистивные датчики;
  • интегральные детекторы ?, ? и ? излучения;
  • радиочастотные МЭМС;
  • микроаналитические системы;
  • элементная база обработки информации с микродатчиков;
  • интеллектуальные микродатчики физических величин;
  • исполнительные компоненты.
• микро- и наноэлектронной аппаратуры:
  • программно-аппаратные комплексы визуализации магнитных полей и идентификации предметов;
  • электронные модули преобразования рентгеновского излучения;
  • микросенсорные системы и аппаратура на их основе;
  • датчики барометрического давления и высотомеры на их основе.

В ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ СФЕРЕ

• производство опытных образцов и серий специализированных полузаказных БИС на БМК серий 5503, 5507, 5508, 5509, интегральных сенсоров и МЭМС;
• изготовление опытных образцов и малых серий полупроводниковых приборов по нестандартным технологическим маршрутам;
• изготовление фотошаблонов;
• производство опытных образцов и малых серий датчиков и микросистемной техники различного назначения.

Продукты

БАЗОВЫЕ МАТРИЧНЫЕ КРИСТАЛЛЫ	Базовый матричный кристалл (БМК) представляет собой универсальное устройство для реализации в интегральном исполнении различных цифровых и цифро-аналоговых схем. Применение БМК обеспечивает значительное уменьшение габаритов и энергопотребления, повышает надежность изделий, резко сокращает номенклатуру применяемых микросхем (одна БИС на БМК заменяет 20-500 микросхем средней степени интеграции). Разработка и изготовление БИС на БМК
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ (ИПД)	Интегральный преобразователь давления (ИПД) представляет собой кремниевый кристалл с мембраной. На лицевой стороне ИПД в области мембраны сформирован тензорезистивный мост, вне мембраны расположена схема температурной компенсации чувствительности. Применение: преобразование давления либо разности давлений в электрический сигнал в датчиках абсолютного и дифференциального давления.Интегральный преобразователь давления ИПД 9 Интегральный преобразователь давления ИПД 6 Интегральный преобразователь давления ИПД 5.2
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДАВЛЕНИЯ (ЧЭД)	ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики кристалла ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика.Чувствительный элемент давления ЧЭД 9 Чувствительный элемент давления ЧЭД 6 Чувствительный элемент давления ЧЭД 5.2
ТЕНЗОМОДУЛИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ (ТДМ)	Тензомодули давления предназначены для измерения абсолютного, дифференциального давления и избыточного давления (разрежения) газовых неагрессивных сред. В тензомодуле применяется чувствительный элемент давления (ЧЭД), представляющий собой сборку из кристалла интегрального преобразователя давления ИПД и кремниевых деталей конструктивного назначения. Тип кристалла зависит от номинального значения давления. ЧЭД герметично соединен с металлическим основанием, в которое впаяны металлостеклянные выводы.Тензомодули абсолютного давления ТДМ-А Тензомодули дифференциального давления ТДМ-Д Тензомодули избыточного давления и разрежения
СПЕЦИАЛЬНЫЕ P-I-N ФОТОДИОДЫ	Основные особенности Большая активная площадь (1,0*1,0 см (S=1,0 см2), 1,45*1,45 см (S=2,0 см2), 4,0*4,0 мм (S=16 мм2), 3*20 мм (S=0,6 см2). Приборы изготовлены из высокоомного особочистого кремния n-типа ( =3…5 КОм*см) Работа в фотовольтаическом либо фотопроводящем режиме Минимальные темновые токи, низкие шумы Высокая стабильность по времени Высокая чувствительность фотодиодов во всем спектральном диапазоне =380…1100 нм ( =80%, =450 нм) Активная поверхность может быть защищена прозрачным покрытием, либо оставлена открытой для -детектирования. Для детекторов рентгеновского и гамма излучений возможна сборка со сцинтилляторами CdWO4, PbWO4, ZnWO4, BJO. Области применения специальных фотодиодов. В качестве чувствительного элемента приемников рентгеновского и гамма излучений. В качестве приемника мягкого рентгеновского, ? — излучения и ? — излучения. В качестве приемника для регистрации слабых потоков импульсного излучения видимого и ближнего инфракрасного диапазонов. Чувствительные элементы интегральных детекторов ?, ? и ? излучений
TЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ БАЛОЧНЫЕ ТКБ-5, ТКБ-6	Применение: в качестве чувствительного элемента датчиков силы, акселерометров, предназначенных для измерения постоянных, переменных (вибрационных) и импульсных (ударных) ускорений. Преобразователь представляет собой прямоугольную балку из кремния с концентраторами механических напряжений в виде поперечных углублений заданных размеров, на рабочей поверхности которых сформированы тензорезистивная мостовая схема, а вне рабочего участка — схема температурной компенсации чувствительности.Tензопреобразователь балочный ТКБ-6 Tензопреобразователь балочный ТКБ-7
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ СИЛЫ	Преобразователи силы различных типов предназначены для измерения силы в электронных весах и других приборах и обладают высоким выходным сигналом. Преобразователи силы выполнены на основе оригинальных кремниевых интегральных балочных тензопреобразователей ТКБ-6, которые вмонтированы в силопередающие стальной или алюминиевый параллелограммы.Преобразователи силы
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МАГНИТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ МАТРИЧНОГО ТИПА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ РАСПРЕДЕЛЕННОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ	Область применения: Создание сканеров магнитного поля для построения систем неразрушающего, высокопроизводительного контроля ферромагнитных изделий (труб, котлов, резервуаров, трубопроводов, теплообменников и т. д., в том числе с защитным диэлектрическим покрытием толщиной до 3 мм), применяемых на объектах тепловой и атомной энергетики, металлургии, трубопроводного транспорта и нефтехимииИнтегральные магниточувствительные микросистемы матричного типа для измерения параметров распределенного магнитного поля
ЦИФРОВАЯ ЛИНЕЙКА ДЕТЕКТОРА РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ	Линейка детектора рентгеновского излучения предназначена для преобразования сигнала рентгеновского излучения и передачи информации в цифровом виде. Линейка предназначена для создания детекторных линеек большого размера, собранных путем соединения отдельных модулей, для использования в системах неразрушающего и технологического контроля, а так же в системах безопасности. Преимуществами являются более высокая разрешающая способность (примерно в 3 раза по сравнению с существующими аналогами), гораздо более низкое энергопотребление (0,3 Вт на 1 линейку (16 ячеек)).Цифровая линейка детектора рентгеновского излучения
МАТРИЧНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДИАГРАММЫ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ОСНОВЕ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ	Области применения: детекторы наличия, ориентации, перемещения ферромагнитных объектов; магнитовизоры; дефектоскопы ферромагнитных объектов. Матричный преобразователь диаграммы распределения магнитного поля на основе магниторезистивных датчиков
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	Датчик предназначен для измерения давления в магистралях сухих неагрессивных газов с передачей результата измерения в цифровом виде. Датчик измеряет относительное давление (разрежение) или нагнетание относительно давления внешней атмосферы. Датчик имеет средства первичной обработки (АЦП, микроконтроллер) для оцифровки аналогового сигнала и его температурной коррекции.Датчик давления
МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	Датчик предназначен для измерения давления газообразных сред с передачей результата измерения в цифровом виде. Датчик измеряет относительное давление, т.е. разрежение или нагнетание относительно давления внешней атмосферы. Датчик имеет средства первичной обработки (АЦП, микроконтроллер) для оцифровки аналогового сигнала.Многоканальный датчик давления
ДАТЧИК ЭЛЕКТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ НАПРЯЖЕННОСТИ МАГНИТНОГО ПОЛЯ С НЕЧЕТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА БКДНПМ-1Н	Области применения: сканеры распределенного магнитного поля, дефектоскопы ферромагнитных объектов, контрольно-измерительные системы, электронные компасы, интегрированные микросистемы анализа постоянных и переменных магнитных полей с диапазонами измерения напряженности магнитного поля от минус 2 Э до 2 Э (БКДНПМ-1Н-02) и от минус 6 Э до 6 Э (БКДНПМ-1Н-06). Датчик электронный преобразования напряженности магнитного поля с нечетной характеристикой выходного сигнала БКДНПМ-1Н (типономиналы БКДНПМ-1Н-02 и БКДНПМ-1Н-06)
ДАТЧИК ЭЛЕКТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ НАПРЯЖЕННОСТИ МАГНИТНОГО ПОЛЯ С ЧЕТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА БКДНПМ-1Ч-10	Области применения: системы контроля частоты вращения роторов, бесконтактные переключатели и детекторы положения ферромагнитных объектов, интегрированные микросистемы для фиксирования заданных уровней магнитного поля или тока
УНИВЕРСАЛЬНЫЙ МОДУЛЬ ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ С МЭМС	Назначение: прием сигналов от МЭМС — датчиков с последующей цифровой фильтрацией и обработкой данных. Вычисление значений измеряемых величин и их обработка по заданным алгоритмам. Комплексирование исходных данных с целью повышения точности параметров. Модуль предназначен для применения в различных системах автоматики и мониторинга (машиностроение, медицина,транспорт и т.д.). В состав модуля входят: трехкоординатный гироскоп, трехкоординатный акселерометр, трехкоординатный датчик магнитного поля.Универсальный модуль обработки сигналов с МЭМС

Достижения

За создание элементной базы для разработки радиоэлектронной аппаратуры нового поколения Постановлением Правительства Российской Федерации от 21 марта 2002 г. № 175 девяти сотрудникам НПК «Технологический центр» МИЭТ была присуждена премия Правительства Российской Федерации 2001 года в области науки и техники и присвоено звание «Лауреат премии Правительства Российской Федерации в области науки и техники».

За разработку и внедрение в серийное производство кремниевых интегральных микроэлектронных датчиков Постановлением Правительства Российской Федерации от 27 февраля 2008 г. № 121 четверым сотрудникам НПК «Технологический центр» МИЭТ была присуждена премия Правительства Российской Федерации 2007 года в области науки и техники.

НПК «Технологический центр» МИЭТ является обладателем более 60 охранных свидетельств на интеллектуальную собственность, патентообладателем более 30 патентов, свидетельств на полезную модель и регистрацию топологий, в том числе 10 в области микросистемной техники.

НПК «Технологический центр» МИЭТ имеет лицензию на право осуществления работ с использованием сведений, составляющих Государственную тайну, лицензию на осуществление космической деятельности. Продукция НПК «Технологический центр» МИЭТ применяется в авивционно-космической промышленности, автомобилестроении, авионике, приборостроении, системах управления АЭС, подвижных составах РЖД, угледобывающей промышленности, нефте- и газоперерабатывающей промышленности, на кораблях ВМФ.

Основные потребители продукции НПК «Технологический центр» МИЭТ:

• ФГУП НИИ «СУБМИКРОН», Москва
• ФГУП МОКБ «МАРС», г. Москва
• ФГУП ЦНИИ «Комета», г. Москва
• ОАО «ИСС», г. Красноярск
• ФГУП «РНИИ КП», г. Москва
• ОАО «АПЗ», г. Арзамас
• ФГУП «ВНИИ автоматики им. Н.А. Духова», г. Москва
• ФГУП ПО «Старт», г. Заречье Пензенская обл.
• НПФ «Мета-Хром», г. Йошкар-Ола
• ОАО «Раменский приборостроительный завод», Московская обл.
• ФГПУ СПО «Аналитприбор», г. Смоленск
• ОАО МНПК «Авионика», г. Москва
• ФГУП «ЦАГИ», г. Жуковский